تستخدم مضخات الانتشار بخار نفاث عالي السرعة لتوجيه جزيئات الغاز الموجودة في عنق المضخة إلى أسفل المضخة و من ثم خارج العادم. تم اختراعها عام 1915 بواسطة فولجانج جييد حيث استخدم بخار الزئبق لهذه الغاية و من ثم تم تطويرها من قبل إيرفينج لانجموير و كراوفورد و اصبحت النوع الأول من المضخات ذات التفريغ العالي و التي تعمل في نظام التدفق الجزيئي الحر بحيث يمكن فهم حركة جزيئات الغاز بشكل افضل كإنتشار بدلا من ديناميات الموائع التقليدية. و قد استخدم جييد اسم مضخة الانتشار بسبب كون تصميمه كان مبنيًا على النتيجة التي مفادها أن الغاز لا يمكن أن ينتشر ضد اتجاه تيار البخار ، ولكن سيتم نقله معه إلى العادم. ومع ذلك ، قد يتم وصف مبدأ التشغيل بشكل أكثر دقة كمضخة تعمل بالغاز ، حيث أن الانتشار يلعب أيضًا دورًا في المضخات ذات التفريغ العالي الأخرى. في الكتب المدرسية الحديثة ، يتم تصنيف مضخة الانتشار على أنها مضخة نقل الزخم.
تستخدم مضخة الانتشار على نطاق واسع في كل من التطبيقات الصناعية والبحثية. تستخدم معظم مضخات الانتشار الحديثة زيت السيليكون أو إثيرات متعدد الفينيل كمائع . و قد اكتشف سيسيل ريجينالد بورش إمكانية استخدام زيت السيليكون في عام 1928.
فمضخة التفريغ الزيتية تعمل على نشر بخار الزيت من خلال بخاخ حيث ترتبط بجزيئات لغاز الموجودة في الوعاء المراد التقليل من ضغطه .و نتيجة لحركة البخار فإن الجزيئات تتحرك معها بنفس الإتجاه و هذا يولد ضغط للغاز في نهاية غرفة التفريغ ومن ثم يخرج خارج الغرفة . أما البخار المنتشر و الجزيئات المرتبطة فإنها تتكثف على الجدران الباردة للمضخة و تعمل السخانات على تحويل سائل الزيت أو الزئبيق إلى بخار مرة ثانية بحيث يمكن أن تقذف إلى الداخل مرة ثانية .
