مادة سائلة لزجة عديمة اللون ، صيغتها الكيميائية H2PO3F و وزنها 
الجزيئي 99.99 جرام/مول . قابلة للذوبان في الماء. تستخدم كعامل حفاز في التفاعلات الكيميائية .
يتم إنتاج فلوريد حمض الفوسفوريك عن طريق معالجة خامس أكسيد الفوسفور مع فلوريد الهيدروجين. كما يمكن تحضيره عن طريق التحلل المائي لأوكسي فلوريد الفوسفور. ينتج التفاعل أولاً ثنائي فلوريد حمض الفوسفوريك:
POF3 + H2O → HPO2F2 + HF
و ينتج عن الخطوات التالية أحادي فلوريد حمض الفوسفوريك :
HPO2F2 + H2O → H2PO3F + HF
و يعطي التحلل المائي الكامل حمض الفوسفوريك:
H2PO3F + H2O → H3PO4 + HF
