نيتريد السيليكون Silicon Nitride: تعرف أيضا باسم ثلاثي السيليكون رباعي النيتريد ، و هي مادة كيميائية توجد على شكلين ألفا و بيتا ، و صيغتها Si3O4 و وزنها الجزيئي 140.28 جرام/مول . فالنوع ألفا مادة توجد عندما يتم تسخين مسحوق Si3N4 عند درجة حرارة 1200 درجة سيليزية لأكثر من أربع ساعات . و رفع درجة