رباعي فلوريد السيليكون Silicon Tetrafluoride: تعرف أيضا باسم فلوريد السيليكون Silicon Fluoride ، و هي مادة غازية رائحتها كريهة جدا تشابه رائحة كلوريد الهيدروجين ، و هي كاوية جدا و سامة. صيغتها الكيميائية SiF4 و وزنها الجزيئي 104.08 . عند اتصالها مع الهواء الرطب تكون أبخرة بيضاء كثيفة. درجة انصهارها -90.2 درجة سيليزية و تتسامى