رباعي كلوريد السيليكون Silicon tetrachloride : تعرف أيضا باسم كلوريد السيليكون Silicon Chloride و رباعي كلور سيلان tetrachlorosilane ، و هي مادة سائلة عديمة اللون متبخرة و رائحتها كريهة . صيغتها الكيميائية SiCl4 و وزنها الجزيئي 169.90 جرام/مول و درجة انصهارها -70 درجة سيليزية و درجة غليانها 59 درجة سيليزية و كثافتها 1.52 جرام/سم3 .