ثلاثي ميثيل كلورو سيلان Trimethylchlorosilane تعرف هذه المادة أيضا باسم كلوريد ثلاثي ميثيـل سيليل Trimethylsilyl chloride و ايضا باسم كلوريد ثلاثي ميثيـل سـيلان chlorotrimethylsilane و يرمز لها اختصارا بالرمز TMSCl و TMCS، وهي مادة سائلة عديمة اللون و ذات رائحة لاذعة ، صيغتها الكيميائية 3(CH3)SiCl و وزنها الجزيئي 108.64 جرام/مول و كثافتها 0.854 جم/سم3. و