ثلاثي ميثيل كلورو سيلان Trimethylchlorosilane تعرف هذه المادة أيضا باسم كلوريد ثلاثي ميثيـل سيليل Trimethylsilyl chloride و ايضا باسم كلوريد ثلاثي ميثيـل سـيلان chlorotrimethylsilane و يرمز لها اختصارا بالرمز TMSCl و TMCS، وهي مادة سائلة عديمة اللون و ذات رائحة لاذعة ، صيغتها الكيميائية 3(CH3)SiCl و وزنها الجزيئي 108.64 جرام/مول و كثافتها 0.854 جم/سم3. و
سيلان Silane ( يطلق هذا المصطلح للإشارة إلى المادة الكيميائية “السيلان” و إلى مجموعة من المواد الكيميائية تعرف باسم “السيلان” مادة السيلان 1 – مركب غازي عديم اللون و ذو رائحة كريهة و يعتبر من ابسط المركبات التي تنتمي إلى سلسلة السيـلانات . صيغته الكيميائية SiH4 و وزنه الجزيئي 32.12 و كثافته و هو