ويختصر لها بالرموز EPM و هي طريقة لتحليل المواد ذات الوزن القليل جدا ( وزنها تقريبا 10-13 جرام ) . و هذه العملية تتطلب توجيه شعاع دقيق جدا من الإلكترونات على العينة لتوليد طيف أشعة أكس خاص للعناصر الموجودة في العينة ، و يمكن ان تصبح تلك العملية عملية كمية للعناصر التي يتجاوز العدد الذري لها عن 11 .
